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기가포톤 주식회사는 현재 개발 중인 EUV 스캐너용 레이저 생성 플라즈마(LPP) 광원의 최첨단 반도체 양산 라인에서의 가동을 시작한 파일럿 광원이 완성되어 95%의 고효율, 평균출력 100W의 안정운전을 통해 세계 최고 수준인 발광효율 5%를 실현했다고 발표했다.
온라인기사 2016-10-21
미세공정 핵심요소 EUV·QPT에 관심 고조
글로벌 반도체 기업들이 미세공정으로 전환하며 미래 경쟁력 확보를 위해 힘쓰고 있다.
지면기사 2015-08-03
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