- EUV 리소그래피 양산 공장 대응 파일럿 광원으로 평균출력 100W의 안정가동 및 발광효율5% 동시 달성
리소그래피 광원의 주요 제조업체인 기가포톤 주식회사(Gigaphoton Inc.)는 현재 개발 중인 EUV 스캐너용 레이저 생성 플라즈마(LPP) 광원의 최첨단 반도체 양산 라인에서의 가동을 시작한 파일럿 광원이 완성되어 95%의 고효율, 평균출력 100W의 안정운전을 통해 세계 최고 수준인 발광효율 5%를 실현했다고 발표했다.
기가포톤은 지금까지 20 μm이하의 극소 드롭렛 공급 기술, 고체 레이저를 사용한 개량형 프리펄스, 새로이 도입한 미쓰비시전기 주식회사의 고주파 방전여기식 3축 직교형 CO2 레이저 증폭기를 이용한 고광품위 메인 펄스빔의 조합, 에너지 제어 기술 개선, 기가포톤의 독자기술인 자기장을 사용한 데브리 제거 기술을 개발했다. 7월에는 프로토타입 기기에서 130W 이상의 연속운전을 달성했다고 발표했다. 이번 파일럿 광원은 EUV 스캐너에 도입하는 것을 전제로 설계된 시스템에 위의 신기술들을 적용한 것이다.
프로토타입 광원보다 훨씬 더 높은 듀티비(운전시간에 대한 발광기간의 비율) 95%, 출력 105W의 안정운전, 발광효율 5%에 성공한 것이다. 이것은 반도체 생산의 처리량을 결정하는 평균출력으로 100W에 상당하며, 현시점에서 사용자의 요구를 뛰어넘은 성능이라 할 수 있다. 운전 실증에 성공한 것은 최첨단 반도체 라인 실현에 성큼 다가섰다는 증거일 것이다.
기가포톤 대표이사 부사장 겸 CTO인 미조구치 하카루는 “최첨단 반도체 양산 라인에서의 가동을 상정한 파일럿 광원이다. 95%의 고효율과 평균출력 100W의 안정 운전을 통해 세계 최고수준인 5%의 발광효율을 실현함으로써 고출력과 저렴한 운영비로 안정가동이 가능한 EUV 광원의 시장도입이 머지 않았음을 말해준다. 기가포톤의 이러한 고도의 기술력과 양산을 위한 개발 노력은 차세대 노광 기술로써의 EUV 스캐너 개발을 가속화시키는 것은 물론 반도체 산업 발전에 기여함으로써 IoT 사회 실현에 기여할 것으로 확신한다”고 말했다.
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