차세대 반도체 생산 위한 인라인 3D 공정 제어 구현
Infinitesima는 2022년 4분기부터 고객사 대상 출하를 지원하기 위해 Metron3D 300mm 인라인 웨이퍼 계측 시스템 생산 확대를 위한 투자 라운드가 완료됐다고 밝혔다.
.jpg)
Metron3D 시스템은 업계를 선도하는 공급사들에서 공급 받는 모듈과 함께 회사의 검증된 Rapid Probe Microscope (RPM) 기술을 탑재해 최대의 성능과 신뢰성을 제공한다. 이 시스템은 고급 반도체 공정에서 고해상도 3D 계측의 필요성이 증가하면서 높은 처리량, 완전 자동화된 인라인 생산 공정 제어를 위해 설계됐다.
Infinitesima 창립자이자 CTO인 Andrew Humphris 교수는 “우리 회사가 갖춘 독자적인 고속 프로브 기술과 함께 인라인 3D 계측에 대한 증가하는 업계 요구가 강력한 고객 참여를 이끌어 낸 것을 기쁘게 생각한다”고 말했다.
이번 투자 라운드는 반도체 소재와 장비 등의 분야에서 광범위한 사업을 영위하는 한국 기업 Wonik의 자회사인 Wonik Investment Partners가 주도했다.
Wonik Investment Partners 사장인 Dong Su Kim은 “Infinitesima는 차세대 반도체 공정 제어 분야에서 증가하는 까다로운 요구 조건에 대응할 수 있는 독자적인 3D 계측 기술과 경험 많은 팀을 보유하고 있어 상당한 수준의 성장 기회가 있을 것으로 판단한다”고 밝혔다.
ARC InterCapital 창립자이자 Infinitesima 회장인 Andrew Dixon은 “대표적 반도체 제조사들을 대상으로 Metron3을 소개한 가운데 Wonik Investment Partners를 공동 투자자이자 파트너로 맞아 기쁘게 생각한다”고 말했다.
<저작권자(c)스마트앤컴퍼니. 무단전재-재배포금지>
