전기차 성장으로 8인치 반도체 수요 늘어… “사업 적극 확대할 것”

오로스테크놀로지가 기존 12인치 오버레이 장비에 이어 8인치 오버레이 시장으로도 사업 영역을 확장한다고 밝혔다. 현재 국내 반도체 제조업체들로부터 8인치 오버레이 장비에 대한 수주를 받았다.

오로스테크놀로지는 올 하반기 국내 및 일본의 반도체 제조업체 4~5곳에 8인치 오버레이 장비 ‘OL-100n’을 공급하기 위한 평가를 진행 중인데, 기존에 Legacy 공정에서 딱히 오버레이(Overlay)를 관리하지 않던 업체에서도 공정 개선 필요성이 대두됨에 따라 OL-100n 장비 선택을 고려하고 있다.



OL-100n은 오로스테크놀로지의 주력 제품인 12인치 오버레이 기술을 기반으로 한 6인치·8인치 공용 오버레이 장비다. 오버레이는 웨이퍼 상부층과 하부층의 전자회로 패턴 위치가 정확하게 정렬되는지를 측정하는 기술로, 반도체 수율에 직접적인 영향을 미친다.

오로스테크놀로지가 OL-100n을 개발한 이유는 8인치 반도체 시장이 화합물반도체를 중심으로 규모가 확대되고 있기 때문이다. 화합물반도체는 두 종류 이상의 원소로 구성된 반도체로, SiC (탄화규소), GaN (질화갈륨) 등이 여기에 속한다. 기존 Si (실리콘) 반도체 대비 전력 효율, 내구성 등이 높아 전기차 산업의 핵심 요소로 각광받는 추세이다.

OL-100n은 화합물반도체의 구성 물질에 따라 달라지는 공정 환경에 대응할 수 있도록 유연하게 설계됐으며, 해외 경쟁사의 노후화된 장비 대비 뛰어난 성능과 빠른 측정 속도(Throughput)를 갖췄다. 기존 장비에서 진행하지 못하는 산화막, Al (알루미늄) 막까지 측정할 수 있다는 점도 OL-100n의 주요 차별화된 기술이다.

OL-100n은 지난해 한국나노기술원, 나노종합기술원 등 주로 국내 연구기관에 공급되며 시스템 반도체 및 차세대 지능형 반도체 R&D 지원사업에 일조했고, 대만과 국내 파운드리팹에 반입돼 양산 적용 중이다. 이러한 성과를 기반으로 오로스테크놀로지는 올해부터 매출처를 본격적으로 확대할 전망이다. 현재 국내 및 일본의 반도체 제조업체 4~5곳으로부터 제품 수주를 검토 받고 있으며, 올해 하반기부터 장비를 공급할 계획인 것으로 파악됐다.

오로스테크놀로지 담당자는 “OL-100n은 기존 중고 및 신규 8인치 오버레이 장비 대비 뛰어난 성능으로 고객사로부터 좋은 피드백을 받고 있다”며 “아시아 시장을 중심으로 판매를 계속 확대할 계획”이라고 밝혔다.