인테그리스, 한국기술센터에 반도체 공정용 케미칼 필터 R&D 및 분석 시설 확장
  • 2016-01-27
  • 편집부

- 새롭게 확장된 역량으로 최적화된 케미칼 필터 솔루션 제공

최첨단 제조 환경 수율 개선 재료 및 솔루션 분야 선도업체인 인테그리스(Entegris, Inc. 나스닥: ENTG)는 오늘 케미칼 필터/정제 분석 및 연구개발 시설을 국내 수원에 소재한 한국기술센터(KTC)에 확장한다고 발표했다. 기존 KTC에 추가 확장된 연구소에서는 필터 테스트 장치를 사용하여 케미칼 및 용액의 분석 및 재료 특성 분석을 할 수 있다. 이러한 새로운 역량으로 인해 한국에 있는 고객과의 긴밀한 공동 연구 및 분석이 가능하며 첨단 공정에 최적화된 솔루션을 제공함으로써 특정 액체 여과 문제를 해결할 것으로 예상된다.

인테그리스 케미칼 미세오염 제어부문 부사장인 클린트 해리스(Clint Harris)는"기술 노드가 향상됨에 따라 복잡한 공정 케미칼과 필터 장치 간 상호 작용 및 호환성에 대한 수준 높은 분석이 점점 더 중요해지고 있다. 고객 가까이에서 이러한 기술에 대한 투자를 지속하여, 고객이 필요로 하는 케미칼에서의 필터 특성을 최적화하는데 노력을 계속할 것이다. KTC 케미칼 필터 연구소 확장으로 한국 고객과의 공동 연구 및 분석 역량이 향상되며, 새롭게 개발한 기술을 고객의 새로운 공정 솔루션으로 더 빠르게 제안할 수 있다"라고 말했다.

이러한 시설 확장은 한국 반도체 제조 기술에 기여하는 인테그리스의 지속적인 노력과 한국 고객들과 좀 더 긴밀한 연구 및 분석을 통하여 첨단 기술 공정 과정에서 발생하는 주요 문제점들을 해결하고자 하는 지속적인 노력을 보여준다. 인테그리스는 첨단 반도체 응용 분야 대부분에 케미칼 필터 및 정제 기술을 제공하는 선도업체이다.

케미칼 필터 R&D 및 분석 시설 확장과 더불어, 인테그리스의 KTC 또한 습식 및 건식 화학 분야 개발, 화학 제제 및 파일럿 스케일업(Scale-up), 실시간 보고식 현장 계측, 미세 오염 및 액체 필터 특성화를 제공한다.

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