Advanced Energy가 업계 최고의 전력 및 제어 기능과 PowerInsight by Advanced Energy™ 임베디드 프로세스 최적화 소프트웨어를 결합한 10kW 펄스 DC 전원 공급장치로 플라즈마 발전기 제품군을 확장했다고 밝혔다.

특허 받은 펄스 기술이 적용된 Ascent® SMS AP (Advanced Pulsing) 전원 공급장치는 반도체에서 태양광 PV 제조에 이르기까지 가장 까다로운 박막 증착 적용에 최적의 아크 관리 및 정확한 플라스마 제어를 제공한다.

소형 10kW Ascent SMS AP는 최대 1200V의 전압과 0.5~150kHz의 주파수로 가장 폭넓은 안전 작동 영역(SOA)을 갖췄다. 완전 전압 역전이 가능한 4블록 프로그레시브 아크 관리 시스템은 업계 최고 수준의 솔루션으로서 공정에 따라 동적으로 움직이는 자체 조정 아크 매개 변수를 최저 아크 에너지로 제공한다. AP 파형은 부스트 전압, 역전압 제어 및 고급 펄스 성형을 제공해 미세 조정을 통해 필름 형태와 원하는 필름 속성을 조정할 수 있다.

Advanced Energy 플라즈마 전력 제품 마케팅 수석 이사인 Dhaval Dhayatkar는 “Advanced Energy는 단일 마그네트론 스퍼터링 적용 분야에서 전례 없는 적응력으로 펄스 DC 전원 공급장치의 성능을 계속 향상하고 있다. 고도로 구성 가능한 파형, 프로그레시브 아크 관리, 동급 최강의 SOA, 넓은 주파수 범위 및 PowerInsight 프로세스 최적화 소프트웨어를 포함한 당사의 최첨단 기술로 채운 새로운 10kW Ascent SMS AP 전력 공급장치로 고객은 고급 반도체 공정에서 가능한 최고 수준의 정밀도, 반복성 및 수율을 달성할 수 있다”고 말했다.

이 새로운 장치는 PowerInsight 공정 특성화 및 최적화 소프트웨어를 내장한 최초의 AE 전원 공급장치다. 중요 전력 공급 시스템의 데이터 수집, 분석 및 변환을 단순화해 PowerInsight는 처리량 및 수율 향상을 위해 프로세스를 최적화하고, 프로세스 장비의 계획되지 않은 가동 중지 시간을 줄이는 데 적용하는 실행 가능한 정보를 제공한다.

PowerInsight를 통해 Advanced Energy의 펄스 DC 전원 공급장치는 아크를 최소화하고 증착률, 필름 형태 및 필름 속성을 향상한다.