- 대형 액정패널 제조공장에서의 어닐링 공정용 광원인 신형 KrF 엑시머 레이저에 대한 평가 개시하고 내년 여름 양산 목표
반도체 리소그래피 광원 주요 제조업체인 기가포톤이 자사의 새로운 브랜드 'GIGANEX' 시리즈의 일환으로 반도체 리소그래피용 엑시머 레이저를 응용한 어닐링용 신형 KrF 엑시머 레이저 개발에 성공한 데 이어 11월에는 패널 제조업체의 양산라인에서 평가를 개시했다고 발표했다.
신형 KrF 엑시머 레이저는 600W의 고출력 사양으로, 대형 패널의 고화질화에 대한 수요가 높아지는 국내외 패널 제조업체들이 어닐링용 광원으로써 큰 기대를 걸고 있다. 기가포톤은 신형 KrF 엑시머 레이저 양산기를 2017년 여름 출하를 목표로 하고 있다.
기가포톤 대표이사 사장 겸 CEO인 토마루 히토시는 “당사가 개발하는 신형 KrF 엑시머 레이저가 'GIGANEX' 시리즈의 라인업에 추가됐기 때문에 보다 다양한 고객의 요구에 대응할 수 있을 것으로 기대한다”며 “기가포톤은 앞으로 ’GIGANEX’ 시리즈를 통해 FPD 업계를 비롯한 다양한 분야에서 가치 있는 솔루션을 제공해 나가겠다”고 말했다.
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