웨이퍼 본딩 및 리소그래피 장비 제조의 선두 업체인 EV 그룹(EVG)은 학계, 연구기관, 산업체를 위한 나노기술 R&D 중심인 나노종합기술원(NNFC)과 원재료 제조 및 공정서비스를 제공하는 NNFC에서 분사한 토탈 솔루션 업체 나노 이니쉐이티브(NI: Nano Initiative)와 공동으로, 현재 초기 결과들을 비롯해 디스플레이를 위한 개선된 투명 나노 구조화 반사-방지 코팅(nanostructured anti-reflective coating)을 생산하기 위한 공동개발프로그램 (JDP)의 제시 방향을 발표했다.

공동개발프로그램을 진행해온 3사 협력사들은 대부분의 고분자 코팅(polymeric coatings) 보다 우수한 97% 이상의 투과율과 표면경도 3H를 제공하는 뛰어난 구조 복제의 반사방지 코팅(nanostructured anti-reflective coating)을 성공적으로 입증했다. 이와 대조적으로, 현재 박막광학 코팅(thin-film coatings) 기술은 92%의 투과율만 제공한다. 3사 협력사들은 디스플레이 코팅의 상용기술 기준에 최적화 된 NI의 고분자 소재 재료를 이용한 200 mm 글래스 웨이퍼에 임프린트(imprint)를 위한 EVG사의 독자 기술 인 SmartNIL™ UV-NIL(nanoimprint lithography) 기술을 적용해 이러한 성과를 달성했다.

2015년 11월에 착수된 공동개발프로그램은 초기 생산 규모를 쉽게 확장할 수 있는 나노 구조용 제조 공정을 추가해 고분자 재료를 기본으로 대면적 디스플레이를 위한 새로운 나노 구조화 반사-방지 코팅(nanostructured anti-reflective coating)을 개발하기 위해 2년간 운영할 목적으로 처음 출범했다.

이 프로그램의 다음 단계로, EVG, NNFC, NI는 EUREKA¹⁾ 프로젝트에 착수할 계획이며, 이 프로젝트에 최종 사용자도 참여할 수 있도록 기회를 확장했다. JDP연구 기관인 NNFC는 Gen 2(370 mm x 470 mm) 패널들처럼 대면적의 대량 패널 제조 실현이 가능할 수 있도록 산업 파트너들에게 새로운 반사-방지 코팅 기술을 전수할 계획이다. 이번 특정 프로젝트뿐 만 아니라, 3사의 JDP 협력사들은 나노 구조와 NIL 기술이 필요로 하는 다른 응용 분야를 조사할 계획이다.

1) EUREKA는 연구, 개발, 혁신 주도적인 공동 프로젝트를 통하여 산업 경쟁력을 강화할 수 있는 목적을 수행하기 위해 40개 이상 국가가 연계되어 설계한 공공 지원 정부 네트워크다. 

NNFC 나노 구조 및 재료 개발팀, 수석 연구원 박재홍 박사는 “세계적 수준의 나노 기술 연구 및 비즈니스 개발 센터로서, NNFC가 유망 신기술의 상업화를 실현하기 위해 산업 제조 선도 기업들과 협업하는데 있어 매우 중요하다”면서 “우리는 EVG와 몇 가지 첨단 나노 기술의 개발 지원 프로젝트를 진행해 왔으며, 첨단 디스플레이 코팅 기술 공동 개발 프로그램에 적합한 파트너라고 생각한다. EVG는 주요 디스플레이 생산에 신기술을 접목할 수 있도록 지원가능한 공정 개발 능력, 설비 그리고 전문 기술을 보유하고 있다”라고 말했다.

EVG, NNFC와 NI는 공동개발프로그램에 대한 결과를 7월 13일부터 15일까지 경기도 고양시 한국국제전시장(KINTEX)에서 개최되는 NANO KOREA 심포지엄 및 전시회에서 선보일 예정이다.

SmartNIL을 포함해 패터닝 솔루션에 대한 EVG의 제품군은 전시장 내 MICRO구역에 위치한 회사 부스 K47에서 시연될 예정이며, 7월 13일 수요일 13시 30분부터 14시 30분에 진행되는 Seminar A 섹션에서 EVG 공개 발표에도 참석하여 제품 정보를 이용할 수 있다. 

나노 이니쉐이티브(Nano Initiative)의 김우충 대표이사는 “우리는 EVG NIL 프로세스 팀이 제공한 첨단 디스플레이 코팅 연구 프로젝트에 대한 전문적인 기술과 조언을 비롯해 이러한 유형의 응용분야에 이상적으로 적합한 EVG의 SmartNIL기술에 진심으로 감사한다”면서 “이 연구의 초기 결과는 우리가 기대했던 그 이상을 실현했으며, 우리는 이러한 디스플레이 코팅 기술의 장점을 입증하기 위해 더 많은 기업들의 참여를 기대하고 있다”라고 말했다.

EVG 코리아를 총괄하는 양원식 지사장은 “EVG는 ‘Invent(발명)-Innovate(혁신)-Implement(실행)’의 트리플(triple)- i 기업 철학 일환으로, 새로운 공정 기술과 장치를 개발하고 이를 생산해 낼 수 있도록 연구 기관 및 재료 제조 업체와 나노 기술 전반에 걸친 업체들과 함께 협력하는 오랜 역사를 가지고 있다”면서 “우리는 한국 내 파트너인 NNFC와 NI와 협력하여 참여할 수 있는 기회를 통해, 2년 동안의 기나긴 협력에 대한 노력의 결실을 맺게 되어 매우 기쁘다. EVG는 새로운 디스플레이 코팅 기술을 상업화하고, 대면적 디스플레이 제조를 지원할 수 있도록 국내 산업 협력업체들과 협업할 수 있기를 기대한다”라고 말했다.

15년 이상의 경험에서 구축된 NIL공정 기술

EV그룹의 SmartNIL은 UV-NIL 기술에 최적화 되어있고, 이는 EVG의 복수 사용이 가능한 소프트 스탬프 기술과 함께 다양한 첨단 소자를 위한 저 비용, 대 면적 및 대량 생산 제조 솔루션에 적합하다.

이는 구면 및 비구면 렌즈, 회절 광학 소자, 광자 결정 및 기능성 광학 필름 등의 다양한 광학 형상을 복제 할 수 있다. SmartNIL은 모든 EVG NIL 장비에 적용할 수 있으며, 이는 마스크 얼라이너(mask aligner)를 포함해, 산업계의 기준이 된 EVG^®720, EVG^®7200 과 새롭게 출시된 EVG^®7200 LA UV-NIL 장비에 사용할 수 있다.  상세 정보는 홈페이지(www.evgroup.com/en/about/evgnews/2015_01/smartnil) 참조.