가스 재활용 등 환경 영향 저감과 비용 절감 기술 개선을 위한 다음 단계로 나서
반도체 리소그래피 광원의 주요 제조업체인 기가포톤 주식회사(Gigaphoton Inc., www.gigaphoton.com)가 고객을 위해, 환경에 미치는 영향을 줄이고자 ‘그린 이노베이션’의 새로운 로드맵을 발표했다. 기가포톤은 2003년부터 로드맵을 추진하며 축적한 풍부한 경험을 바탕으로 유틸리티 비용 절감 목표를 현실화해 나갈 방침이다.
네온 및 헬륨 가스 공급이 감소하면서 해당 가스 가격이 가파르게 상승하고 있으며 전 세계적으로 에너지 사용량은 급증하고 있다. 기가포톤은 최근 몇 년간 이에 대한 세계적 우려에 대처하기 위해 진행 중인 자사의 ‘에코포톤’(EcoPhoton) 프로그램에 발맞춰 친환경 혁신 기술을 앞장서 제공하는 이니셔티브를 추진해 왔다. 기가포톤은 2013년 헬륨가스를 질소가스로 대체해 헬륨 가스 사용량을 99% 줄이는 기술을 개발했으며 2014년에는 네온 가스 사용량을 최대 50%까지 줄일 수 있는 eTGM 기술을 개발했다. 이어 2015년에는 레이저 방출 효율을 20% 끌어올림으로써 레이저 성능은 그대로 유지하면서 전력 소비량을 15%까지 절감할 수 있는 eGRYCOS 기술을 선보였다.
이번에 공개한 새 로드맵은 이들 제품의 개선에 박차를 가하는 데 중점을 뒀다. 기가포톤은 배출 가스에서 불순물을 제거해, 실린더에서 공급되는 신선한 가스와 동등한 수준의 순도를 구현하는 네온 가스 재활용 시스템을 개발했다. 이로써 네온 가스 소비를 제로 수준에 가깝게 줄일 수 있게 됐다. 헬륨가스의 경우 헬륨을 질소로 대체함으로써 광학적 특성은 훼손시키지 않으면서 더 높은 안정성을 유지하는 기술을 개발했다. 기가포톤은 2020년까지 전력 소비량을 절반으로 줄이는 기술을 개발하는 한편, 첨단 리소그래피 공정에 요구되는 레이저 출력을 향상시킨다는 목표를 달성하기 위해 매진하고 있다.
토마루 히토시 기가포톤 대표이사는 “기가포톤은 최고 우선 순위 중 하나인 그린 이노베이션을 바탕으로 이니셔티브를 실행하고 있다”며 “이는 친환경 녹색 공장을 현실화하는 동력이 되고 있으며 이 같은 노력에 많은 고객사의 호평을 얻고 있다”며 “고객사에 유용한 기술과 서비스를 계속 제공할 수 있도록 노력을 더해 갈 계획”이라고 강조했다.
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