1000번째 VECTOR® PECVD 설비 출하
노벨러스 시스템은 싱가포르에 위치한 글로벌파운드리즈의 공장 Fab7에 1000번째 VECTOR 플라즈마화학증착(PECVD) 시스템을 입고했다고 발표했다. 첨단 반도체 제조 기술의 선도적인 공급업체인 글로벌파운드리즈는 최근 차터드 세미컨덕터 매뉴팩쳐링과의 통합을 완료했고, Fab7에서 65나노 기술 노드 및 그 이상의 기술 노드에서의 대량생산을 위해 300mm VECTOR Express™를 사용할 예정이다.
2000년 7월에 처음 출시된 VECTOR 시스템은 광범위한 유전체 애플리케이션을 증착시키는데 사용되는 장비이다. 전 공정(FEOL)에서 VECTOR는 게이트 스페이서 및 라이너, 인장 실리콘용 고 응력 필름, 비결정성 탄소와 반사 방지 층, 하드마스크 필름 및 식각 정지 층의 증착에 사용된다.
글로벌파운드리즈의 Fab7 최고 책임자인 피터 베논은 “노벨러스 VECTOR 플랫폼은 전/후 공정 유전체 애플리케이션을 위해 65나노에서의 대량생산과 Fab7의 첨단 45/40나노 기술노드에서 사용되고 있습니다”라고 말하며, “우리는 고객이 혁신적인 디자인을 신속하게 시장에 출시하도록 돕기 위해 노벨러스와의 협력 관계를 지속해 비용대비 효율적이고 기술적으로 앞선 솔루션을 개발할 것입니다”라고 덧붙였다.
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