산화갈륨 반도체 수율 80% 확보…글로벌 최초 양산화 성공
파워큐브세미가 산화갈륨 전용 양산 공정라인의 수율을 80%까지 확보했다고 밝혔다.
회사는 2025년 8월 성남시 상대원동에 글로벌 최초의 산화갈륨 전용 양산 공정라인을 구축한 바 있다. 이번 성과는 양산라인 구축 이후 공정 조건 최적화와 장비 안정화, 공정 개선을 지속적으로 추진한 결과로, 본격적인 제품 양산을 위한 핵심 기반을 확보했다는 점에서 의미가 크다는 설명이다.
업체 측에 따르면, 산화갈륨(Ga2O3)은 기존 실리콘카바이드(SiC) 및 질화갈륨(GaN) 소자보다 더 넓은 밴드갭 특성을 보유한 울트라 와이드 밴드갭(Ultra-Wide Bandgap) 소자로 우수한 전력변환 효율을 보유해 3세대 반도체 소자로 여겨지고 있다. 또한 기존 화합물 반도체에는 적용하기 어려운, 용융상 성장법(Melt-Growth Method)를 통해 용액 상태에서 고품질의 대면적 웨이퍼를 만들기 쉽다. 그 결과 저비용으로 대형 고전력 소자를 제작할 수 있게 된다는 것이다.
파워큐브세미는 확보한 양산 기술을 기반으로 올해 말 3,000V급 산화갈륨 전력반도체 시제품을 출시할 계획이다. 이후 2027년부터 SiC, GaN등이 접근하기 어려운 고전압 전력변환 시장을 중심으로 사업화를 본격 추진한다는 전략이다.
파워큐브세미의 경신수 CTO는 “이번 수율 확보를 통해 산화갈륨 상용화를 위한 핵심 제조기술을 확보했으며, 향후 공정 고도화와 제품 포트폴리오 확대를 지속 추진해 차세대 전력반도체 시장에서 경쟁력을 강화해 나갈 계획” 이라고 밝혔다.
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