SEMICON Korea서 통합 플랫폼 ‘UnityX’ 첫 공개… 일본 Tokyo KEIKI와 기술 협력 확대
아센디아(ASENDIA)가 서울 코엑스에서 열린 ‘SEMICON Korea 2026’에 참가해 차세대 RF 기술과 글로벌 협력 전략을 공개했다.
아센디아는 반도체 식각·증착 공정용 플라즈마 장비의 핵심 부품인 RF Generator와 RF Matcher를 양산 공급 중이다. 지난해에 이어 올해도 전시 부스를 운영하며 주력 제품인 Dual Frequency Matcher와 신규 플랫폼 기반의 RF Generator를 선보이며 반도체 공정 환경 변화에 대응하는 제품 기술을 소개했다.
특히 RF Generator와 RF Matcher를 하나의 시스템으로 통합한 ‘UnityX’를 처음 선보였다. UnityX는 분리형 구조 대신 통합 설계를 적용한 RF 플랫폼으로, 에너지 효율과 설치 공간 측면의 개선을 목표로 개발됐다. 회사 측은 UnityX가 반도체 장비의 고집적·고효율화 추세에 대응하기 위한 통합형 솔루션으로, 향후 주력 제품군으로 확대할 계획이라고 밝혔다.
이번 전시에서는 글로벌 협력 확대를 위한 움직임도 함께 공개됐다. 일본의 정밀기기 기업 Tokyo KEIKI와 그 한국 거점인 한국도키멕이 아센디아 부스에서 마이크로웨이브 관련 제품을 공동 전시했다. 이번 협력은 RF 기술을 기반으로 마이크로웨이브 영역까지 사업 범위를 확장하기 위한 전략적 기술 협력의 일환으로, 양사는 차세대 반도체 공정 대응을 위한 기술 개발과 사업 기회를 공동으로 모색해 나갈 계획이라고 밝혔다.
아센디아는 UnityX를 통합형 RF 플랫폼으로 소개하며, 에너지 효율과 공간 활용성 개선을 주요 특징으로 제시했다. 또한 Tokyo KEIKI 및 한국도키멕과의 협력을 통해 RF를 넘어 마이크로웨이브 분야로 사업 영역을 확대하고, 글로벌 기술 경쟁력을 강화해 나갈 방침이라고 덧붙였다.
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