Morgan, 교체 가능한 내마모성 필름을 통해 정전 척의 수명을 연장
2014-09-19 편집부
Morgan Advanced Materials는 교체 가능한 내마모성 필름을 통해 정전 척(Electrostatic Chuck) 의 수명을 연장시켜 준다.
Morgan Advanced Materials은 반도체, 태양광, LED 분야에서 알루미나 및 베릴리아 정전 척(ESC)의 수명을 늘려주는 내마모 층의 새로운 솔루션을 발표했다. 최종 보호층에 적용된 Diamonex 첨단 하드 코팅은 재생된 ESC의 수명을 늘여 줄 수 있다.
DLC(Diamond-Like-Carbon) 및 기타 나노 복합소재로 만들어진 내마모성 박막 필름은 전자기 층을 보호하고 전반적인 부품의 수명을 늘려주는 것은 물론, 특정 저항 요건에 부합할 수 있도록 조정된다. 또한 광범위한 내화학성을 가지며, 챔버 프로세스 호환 요건에 부합하고, 고온 가열된 척 애플리케이션을 견딜 수 있다.
이 하드-코팅은 신규 또는 재생된 ESC에 적용이 가능하며, 최초 설계에 내마모 층이 없는 ESC에도 적용할 수 있다. 이 첨단 필름은 CVD, PVD, 에칭, 이온 주입 공정에 사용할 수 있다. 이 필름은 결함을 낮추기 위해 메사 패터닝으로 되어 있으며, 매우 높은 고온 공정에도 적용이 가능하다.
정전 척을 위한 내마모층에 대한 보다 자세한 정보는 http://www.diamonex.com/wearlayers에서 확인할 수 있다.
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