싱가포르의 다국적 파운드리 고객사에 단일 웨이퍼 세정 시스템 공급
ACM 리서치는 최근 싱가포르에 위치한 다국적 파운드리 고객사의 전공정 웨이퍼 팹 생산라인에 300mm 단일 웨이퍼 세정 시스템을 공급했다. 이번 공급은 ACM이 싱가포르 소재 팹에 장비를 납품한 첫 번째 사례로, 동남아시아 시장에 대한 ACM의 입지를 확대하고 글로벌 성장 전략을 실행하는 데 있어 중요한 전환점이라고 업체 측은 밝혔다.
이 시스템은 첨단 반도체 제조 공정을 위한 웨이퍼 후면 세정 및 습식 식각 공정을 지원한다. 이 시스템의 핵심 공정 기술은 국제적인 공정 검증을 거쳤으며, 글로벌 선도 반도체 제조회사들이 요구하는 엄격한 성능, 수율, 신뢰성 기준을 충족하도록 설계됐다는 설명이다.
특히 이 시스템은 베르누이 척(Bernoulli chuck)을 활용한 질소 보호 기반 웨이퍼 후면 핸들링 기술을 적용해 공정 안정성을 높였으며, 화학물질 재활용 기능을 통합해 비용 효율적인 운영을 지원한다. 또한 질소 기반 두 가지 유체 세정 기술과 첨단 노즐 스캐닝 아키텍처를 결합해 정밀하고 균일한 공정 성능을 구현한다. 이 시스템은 실리콘 및 박막 공정을 포함한 다양한 습식 식각 애플리케이션에 유연하게 적용할 수 있다.
ACM의 사장 겸 CEO인 데이비드 왕(David Wang) 박사는 “싱가포르 고객사에 대한 이번 첫 번째 장비 공급은 전세계 유수 팹들의 첨단 반도체 제조를 지원할 수 있는 ACM의 역량을 입증하는 사례”라며, “고객들이 계속해서 지역별 생산 능력을 확대해 나감에 따라, ACM은 현대 반도체 제조 환경에서 요구되는 높은 성능 및 신뢰성 기준을 충족하는 차별화된 공정 기술을 제공하는 데 주력할 것”이라고 밝혔다.
이번 공급은 전략적으로 중요한 글로벌 생산 거점을 적극 지원하겠다는 ACM의 일관된 의지를 보여주는 동시에, ACM의 혁신적인 기술력과 제품 품질에 대한 전세계 고객들의 신뢰가 점점 더 높아지고 있음을 시사한다고 설명이다.
<저작권자(c)스마트앤컴퍼니. 무단전재-재배포금지>
