2027년 양산 목표로 신축 공장부지 확보, 차세대 Si 반도체 공정 타깃해

2017년 직장을 그만두면서 결심한 게 있었다. 

“30년 반도체 경험을 바탕으로 진보하고 있는 반도체 기술 변화에 적용 가능한 증착 장비를 만들어보자.”
 
이큐테크플러스의 김용원 대표가 처음 시작한 일은, 뜻을 같이할 사람을 모으는 일이었다. 그 다음은 장비개발에 필요한 자금을 확보하는 것이었다. 조그만 신생 회사가 수백억이 들어가는 장비 개발과 생산을 한다는 것은 불가능에 가까운 도전이었다.
 
“이큐테크플러스의 철학은 기술과 경험을 바탕으로 고객의 요구에 대응하는 것입니다. 글로벌 회사의 수준에도 결코 뒤지지 않는 공정 및 장비 특성, 원가 경쟁력, 노력을 아끼지 않는 지속적인 R&D가 우리의 경쟁력이자 강점입니다.”


외부의 자금을 유치하는 것은 분명한 한계가 있는 일이었기에 장기적이고 안정적 개발자금을 충당할 수 있는 사업 아이템이 필요했다. 고민 끝에 선택한 아이템이 지금의 증착웨이퍼이다. 

당시 테스트용 증착웨이퍼는 연구기관에서 제작되어 소량 공급되거나 대부분은 해외에서 수입 공급되는 상황이었다. 2017년 증착장비 1대로 출발해서 현재는 5대의 생산 설비가 가동 중이다. 그것이 회사를 운영하고 장비 개발비용을 충당하는 주 수입원이 되었다.

이처럼 이큐테크플러스는 반도체 소재ㆍ장비ㆍ공정 각 분야에 20년 이상 경력을 가진 엔지니어들의 경험과 기술을 기반으로 2017년 창업한 벤처기업이다. 테스트용 증착웨이퍼 생산, 반도체 증착장비를 생산하는 세계 최고 기술 수준의 증착전문 회사라 자부하는 김 대표에게 듣는다.
  


Q.  먼저, 시장은 지금 어떤 상황인지요.

증착웨이퍼 사업은 초기부터, 품질 관리와 고객의 요구에 맞는 대응을 최고의 원칙으로 삼고 있습니다. 앞으로도  산업 현장의 요구를 적극 수용 대응한다는 원칙을 유지할 것입니다.

반도체 산화막 장비 사업은 7년 이상의 노력 끝에, 2022년 NET (New Excellent Technology) 인증을 확보하고, 올해 양산향 제품 제작을 완료하여 SEMI 제품 인증(S2, S6, S8)도 획득했습니다.

특히, 향후 폭발적인 수요가 예상되는 전력소자 부문에서는, 고객사와의 디바이스 평가를 통해 계면 특성 개선 등 의미 있는 데이터를 확보했습니다. 곧 2차 평가를 거쳐 멀지 않은 시간 내에 판매가 이루어 질것이라고 예상합니다.
Q.  이에 이큐테크플러스는 어떠한 경쟁력을 가졌는지요.

DRAM 및 FLASH Device 등의 핵심 산화막 공정에서도 이미 타사 대비 우수한 막 특성, 전기특성, 생산성, 원가 경쟁력 등이 확보되어 있으므로, 신규 디바이스 팹(Fab)을 중심으로 점차 수주가 이루어질 것으로 기대하고 있습니다.

이큐테크플러스의 철학은 기술과 경험을 바탕으로 고객의 요구에 대응하는 것입니다. 글로벌 회사의 수준에도 결코 뒤지지 않는 공정 및 장비 특성, 원가 경쟁력, 노력을 아끼지 않는 지속적인 R&D가 우리의 경쟁력이자 강점입니다.

 

Q.  회사를 시작하면서 사람을 모으는 일에 신경을 많이 쓰셨다 들었습니다. 그만큼 기술력에 초점을 두었다는 의미 같은데요.

맞습니다. 이큐테크플러스의 경잭력의 원천은 기술력입니다. 구성원들이 각 분야에서 갈고 닦은 경험과 노하우를 유기적으로 결합해 공동의 목표를 향해 나아갈 수 있는 환경을 만드는 것이 리더의 역할이라고 생각합니다.

신중하면서 빠른 의사결정, 결정사항의 신속한 실행, 목표 달성을 위한 최대한의 지원, 이큐테크플러스는 우수한 인력들이 가진 강점을 최대한 발휘할 수 있는 시스템을 만드는 것을 중요하게 생각합니다. 한마디로 정의하면 사람과 시스템이라고 할 수 있습니다.
 

Q.  힘든 일도 많았을 것 같습니다만, 어떤 문제가 고민인가요.

작은 기업을 운영하는 분들이라면 공통적으로 겪은 일이겠지만, 자금을 확보하고 필요한 인력을 적시에 구하는 것이 가장 힘든 일이었다고 생각합니다.

또 어렵게 만든 제품이 작은 신생기업이라는 이유로 시장의 평가를 제대로 받지 못한 일들도 한번쯤은 겪어 보았을 것이라 생각합니다. 이 문제는 여전히 해결되지 않은 현재 과제로 남아 있기도 합니다.


Q.  그래도, 최근 보람이 있었던 순간을 꼽는다면요.

매 순간 순탄했던 적이 없었던 것 같습니다. 하나의 고비를 넘으면 또 다른 문제에 직면해야했고 순간 순간이 문제를 해결해야할 시간이었던 것 같습니다.

그래도 문제를 해결해 가는 과정에서 성취감과 보람을 느꼈고 모든 게 기억에 남습니다. 굳이 그중에 하나만 골라야 한다면 가장 최근의 일이지만 험난한 과정 끝에 장비 제작을 완료하고 SEMI REPORT를 받던 순간을 꼽겠습니다.
 

Q.  회사의 목표가 궁금합니다. 

2027년 양산을 목표로 2,000평 신축 공장 부지를 확보했습니다. 개발된 장비는 현재 전력반도체용으로 판매할 예정이지만, 차세대 Si 반도체 공정을 주 타깃으로 개발되었습니다.

전력반도체에 이어 Si 반도체 고객사 평가도 곧 진행될 예정입니다. 준비 기간을 포함하면 10년이 넘은 연구 개발이 곧 결실을 맺을 것으로 기대합니다. 2027년 한국 반도체 산업의 장비 기업 일원으로 자리 매김하기 위한 여정을 계속하겠습니다. 




  우리 회사 핵심 제품은요
기술과 경험 토대로 커스터마이징 가능, 증착 핵심기술 특허 보유해

1. 증착웨이퍼
 
증착웨이퍼는 실리콘웨이퍼 위에 화학적 막을 입혀 반도체적 특성을 가지게 하는 반도체 주요 공정으로 장비업체, 화학회사, 소자업체 등에서 테스트용으로 사용.
 
기술과 경험을 토대로 Custormizing이 가능하고 증착 핵심 기술 특허를 보유, 최고 품질 수준을 유지하고 있다. 다수의 글로벌 장비업체에 납품 중. 
 
2. 반도체용 산화막 증착장비

- SiC 기판 전력반도체의 계면결함을 감소시키기 위해 저온에서 라디칼을 고밀도화하여 산화막을 생성시키는 증착 장비로 소자의 막특성, 전기적 특성이 향상된다.

- Si 기판 반도체(DRAM, FLASH, LOGIC)의 핵심 산화막 공정에 사용할 수 있으며, 이큐테크플러스만의 핵심 기술을 기반으로 글로벌 장비 회사들보다 우수한 공정 및 장비 특성을 보유하고 있어 경쟁우위 확보 및 차별화가 가능하다.

 -이 장비는, 100mm~300mm Wafer 적용 가능하며, Radical Oxidation 및 ALD SiO2   공정을 기본으로 향후 디바이스 미세화 및 계면/막 특성 향상에 적합하고 생산성이 우수한 특성을 보유하고 있다.