포토리소그래피 산업용 고효율·저탄소 황색광 솔루션 공개...기존 형광등 및 LED 대비 에너지·비용 효율성 향상
바스프(BASF)는 반도체와 인쇄회로기판(PCB), 디스플레이 제조, LED 생산, 태양광 에너지 등 포토리소그래피 기반 및 관련 산업용 공정에 적용할 수 있는 차세대 황색광 솔루션을 공개했다.
업체 측에 따르면, 이 혁신 기술은 황색광 공정에 필요한 엄격한 스펙트럼 제어를 유지하면서도 기존 황색 형광등과 필터 기반 LED를 완전히 대체한다. 또한 높은 에너지 효율, 낮은 전력 소비, 탄소 발자국 저감을 제공해 고객이 성능 저하 없이 지속가능성 목표를 달성할 수 있도록 지원한다.
기존의 황색 형광등은 민감한 공정을 보호하기 위해 530nm 이하의 단파장을 차단하지만, 이러한 필터링 과정에서 에너지가 낭비된다. 반면 바스프의 새로운 솔루션은 흡수-변환(absorption-conversion) 메커니즘을 사용해 첨단 반도체 애플리케이션을 위해 530nm 이하 파장을 차단하는 등 유해한 파장을 차단할 뿐만 아니라, 이를 유용한 황색광으로 변환해 에너지 사용과 시스템 성능을 극대화한다는 것이다.
더불어 이 기술은 스펙트럼 청정성, 균일한 밝기, 시각적 편안함을 보장하며, 튜브, 패널, 방폭형 조명 등 기존 조명 기기에 원활하게 적용할 수 있다. 또한 현재 사용 중인 전력 및 열 관리 시스템과 호환돼 설치를 간소화하고 도입 리스크를 줄인다.
바스프의 신규 황색광 솔루션은 기존의 황색 형광등 및 LED 황색광 튜브 대비 대비 △낮은 전력 소비로 동일한 밝기를 구현해 전기 및 냉각 비용 절감 △기존 형광등 또는 필터 기반 LED에서 바스프 솔루션으로 전환 시 에너지 사용량 25% 절감 가능 △낮은 열 전달로 안정성 향상 및 수명 연장 △제한 물질에 대해 RoHS 및 REACH 규정 준수 △고온 신뢰성 조건에서도 검증된 뛰어난 열 안정성과 △실제 반도체 공정에서 5년 이상 사용 후 측정 가능한 성능 저하가 없다는 장기 신뢰성까지 확보했다고 업체 측은 전했다.
바스프 황색광 솔루션의 대표적인 적용 분야는 클린룸 조명, 리소그래피, PCB 검사 및 엄격한 단파장 제어가 필요한 기타 공정이다. 바스프와 파트너사는 고효율·저탄소 조명 환경 도입을 가속화하기 위해 샘플링, 현장 평가, 탄소발자국 분석을 포함한 기술 지원을 제공한다는 설명이다.
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