4881HV 고전압 웨이퍼 테스트 시스템, 반도체 테스트 포트폴리오 확장
키사이트테크놀로지스가 반도체 테스트 포트폴리오를 확장하는 4881HV 고전압 웨이퍼 테스트 시스템을 출시했다.
이 솔루션은 고전압과 저전압 테스트를 한 번에 수행할 수 있는 최대 3kV의 파라메트릭 테스트 기능을 제공해 전력 반도체 제조업체의 생산성과 효율성을 높인다.
전통적으로 제조업체는 고전압과 저전압 테스트를 위해 별도의 장비를 사용했다. 하지만 다기능성, 고성능, 차세대 소자인 실리콘 카바이드(SiC)와 갈륨 나이트라이드(GaN)로 인해 전력 반도체에 대한 수요가 빠르게 늘어나고 있다. 이에 따라 더 정확하고 효율적으로 디바이스를 테스트하면서 출시 시간을 줄일 수 있는 솔루션이 필요한 상황이다.
키사이트의 새로운 테스트 시스템은 이런 문제를 해결하면서, 제조 공정에서 프로세스 제어 모니터링(PCM)과 웨이퍼 승인 테스트(WAT)를 수행할 수 있도록 설계됐다. 이 시스템은 고전압 스위칭 매트릭스(HV-SWM)를 사용해 최대 3kV의 요구를 충족하며, 최대 29개의 핀으로 확장할 수 있고 정밀한 소스 측정 장치(SMU)와 통합돼 있다. 이로써 초미세 전류부터 3kV 전압까지 폭넓은 범위의 측정을 지원하며, 고전압 커패시턴스 측정과 다양한 파라메트릭 테스트도 가능하다.
또한 HV-SWM은 고전압과 저전압 테스트를 위한 별도의 장비를 하나의 시스템으로 통합해 설치 공간과 테스트 시간을 줄이고 효율을 높인다. 이 시스템은 키사이트의 SPECS-FA 소프트웨어와 통합돼 전체 생산 공정의 효율성을 개선한다.
더불어, 시스템에는 고전압 테스트 중 발생할 수 있는 위험으로부터 운영자와 장비를 보호하기 위한 보호 회로와 제어 장치가 내장돼 있으며, SEMI S2 등 안전 규정을 준수해 안정성과 신뢰성을 확보했다.
키사이트 웨이퍼 테스트 솔루션 부문 부사장 신지 테라사와(Shinji Terasawa)는 “키사이트는 첨단 반도체 테스트 분야에서 쌓아온 경험을 바탕으로 이번 웨이퍼 테스트 시스템을 선보이게 됐다”라며, “반도체 산업의 빠르게 변하는 요구를 충족하기 위한 최첨단 솔루션을 제공하는 것이 우리의 목표다. 이번 시스템은 업계에 대한 우리의 노력을 보여준다”고 밝혔다.
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