웨이퍼와 직접 접촉하는 Ceramic ESC, Heater, 전원 공급 장치 등 공급해

㈜파웰 코퍼레이션은 1999년 설립되어 반도체 및 디스플레이 산업에 지원하는 데 필요한 장치와 부품의 국산화 및 수입 다변화를 통해 지속적인 성장을 이뤄왔다. 

이 회사 강창수 대표는 해외기업에서 근무하면서 반도체 시설과 관련된 진공 및 공급 업무를 담당해 반도체 및 디스플레이 산업에 대한 깊은 이해가 있었기 때문이다. 이러한 경험을 통해 반도체 시장이 계속해서 성장할 것으로 예측했다. 창업 초기에는 여러 가지 아이템을 경험하며 사업 모델을 구상하였고, 그 중 ESC(정전척) 제품 사업이 성장하면서 현재 위치에 이르게 되었다.
 


현재 파웰 코퍼레이션은 세라믹 기술을 적극적으로 활용하여 반도체 제조의 핵심 공정 중 하나인 Front 공정에서 사용되는 웨이퍼와 직접 접촉하는 Ceramic ESC, Heater, 전원 공급 장치 등을 제작하여 공급하고 있다. 또한, 고객사의 생산 장비 및 공정에 필요한 ‘Chuck’과 전원 공급 장치를 턴키로 제작 및 공급하고, 제품 클리닝 관련 솔루션 개발에도 주력하고 있다.


Q_ 파웰 코퍼레이션은 반도체 분야의 핫이슈로 떠오른 HBM 시장에도 진입할 예정이라고 하는데, 자사의 경쟁력과 차별성은 무엇이라고 보시는지.

반도체 시장의 밝은 전망은 우리 회사 제품이 시장에서 큰 성공을 거둘 수 있는 확실한 기회를 의미합니다. ㈜파웰 코퍼레이션의 정전척은 기술적 완성도 면에서 우수하다는 것을 고객으로부터 인정받아 양산 공급을 하고 있으며, 지속적인 개발 의뢰를 받고 있습니다. 현재는 고순도의 제품을 공급하기 위하여 많은 노력을 기울이고 있으며, 가장 큰 이슈인 HBM 시장에 진입하기 위하여 노력하고 있습니다. Ceramic ESC 제품은 고객의 요구를 충족시키는 동시에 시장의 새로운 요구사항에도 빠르게 대응하여 지속적인 기술 혁신과 반도체 산업의 발전에 기여할 수 있는 제품이라고 생각합니다. 

또한 플라즈마 특성 측정에 대한 수요는 충분한 잠재 시장을 형성하고 있으며, 이는 혁신적인 제품 개발에 중요한 기회를 제공합니다. 플라즈마 인베디드 정전척 특허를 보유하고 제품을 개발하고 있으며, 다양한 공정테스트를 진행하고 있습니다. 저희의 제품을 사용하는 생산 라인에서 생산 수율 향상 등을 목표로 하며 본 제품이 양산화에 성공한다면 전 세계 최초로 ESC 타입의 플라즈마 밀도를 측정할 수 있는 PDS ESC 제품을 공급하는 기업이 될 것입니다.




Q_ 고객 만족을 최우선으로 하는 기술영업 인력 구성과 조직 내 소통과 협업문화를 중시한다고 들었는데. 

우리 회사는 대한민국 반도체 1세대 생산 라인이 추진되고 있을 때 설립되었습니다. 그때 당시부터 지금까지 생산 라인 구축에 수년간 기술 영업을 통해 많은 고객을 확보해 왔으며, 지속적인 영업 관리, 안정적인 품질의 소재 부품을 공급하는 능력을 기반으로 성장해왔습니다.

저희 회사만의 경쟁력을 유지하기 위하여 매년 비전과 목표를 설정하고, 이를 달성하기 위한 프로그램을 수행하고 있습니다. 이러한 과정에서 직원들 간의 소통과 협업이 자연스럽게 늘어나고, 조직의 성과에도 긍정적인 영향을 미치고 있습니다. 

또한 ㈜파웰 코퍼레이션의 신조는 “고객가치에 혁신을 직원에게 성장과 행복을 주는 기업이 되자”입니다. 모든 임직원 분들이 신조를 기억하고 실천한 덕분에, 회사의 주요 제품이 장기적으로 유지되고 발전할 수 있었습니다. 고객들과 파트너사의 소중한 동행에 감사드리며 앞으로도 더욱 노력하여 여러분께 보답하겠습니다.


Q_ 첨단 산업 분야에서 경쟁해야 하는 기업의 어려움도 많을 것 같다. 어떤 어려움이 있으며 어떻게 극복하고 있는지.

첫 번째는 반도체 업황에 따라 어려움을 겪고 있지만 기업의 가치와 매출 성장에 큰 성과를 내기 위해 R&D에 집중 투자를 하고 있습니다.
두 번째는 중소기업은 인적, 물적 자원의 제약으로 인해 회사의 인력 채용에 적지 않은 어려움이 있습니다. 
세 번째는 R&D 연구 개발 지원, 연구 인력 확보 등 실효성 있는 다양한 정책을 더욱 지원한다면 대한민국의 크고 작은 기업에 도움이 많이 될 것 같습니다.

 


Q_ 힘든 만큼 그 속에서 거두는 성과는 오래 기억에 남을 것 같은데, 소개하고 싶은 성과가 있다면. 

2000년도 초반부터 반도체 ‘Etching Line’에서 사용되던 8“ Polyimide Type ESC를 세라믹 제조사와 협업하여 2년 반 동안의 개발을 통해 폴리이미드 타입 ESC를 세라믹 타입 ESC로 개발하게 되었습니다. 

긴 개발 기간 동안 고객사의 니즈를 맞추기 위해 세라믹 제조사의 파트너를 설득하고, 엔지니어들과 공동 개발을 진행하면서 정말 어려운 고비도 많았습니다. 다행히도 고객이 희망하는 사양의 제품을 성공하여 양산 공급하였던 것이 가장 기억이 납니다. 이후 우리 회사의 사업이 성장하는 계기가 되었습니다.
 

Q_ 파웰 코퍼레이션의 목표는 무엇인가요. 

현재 총 4가지의 형태를 가지고 있습니다. 첫 번째로는 PDS ESC 양산화 개발입니다. PDS는 반도체 Etching Line에 사용되는 플라즈마의 밀도를 실시간으로 측정하고 튜닝할 수 있는 솔루션입니다. 이는 생산 수율에 큰 영향을 끼칠 수 있는 플라즈마를 컨트롤 할 수 있도록 하고 있습니다. 저희는 이 솔루션을 ESC에 도입하여 하이브리드 타입의 ESC 및 센서 타입으로 개발하고 있으며, 생산 라인 및 연구 라인에서 생산 수율 향상을 목표로 활용하고 있습니다.

두 번째로는 ESC 개발 및 수리 사업입니다. ESC는 반도체 프론트 공정에 사용되는 핵심 부품으로, 견고한 내구성을 가진 세라믹 소재로 만들어졌지만, 사용 기간에 따른 물리적인 손실이 발생할 수 있습니다. 이러한 손상된 세라믹 부분을 재생하여 공정에 다시 사용될 수 있는 수준으로 수리하는 것을 목적으로 하는 사업입니다. 현재 당사에서는 이 사업을 수행하기 위한 준비를 완료하였으며, 자체적인 개발과 수리 업무를 병행하고 있습니다.

세 번째로는 파워반도체 관련 신터링 소재 개발입니다. 이는 파워반도체 IGBT 모듈에 사용되는 파워반도체 칩 본딩용 신터링 소재를 개발하는 것입니다. 현재 자회사에서 개발을 진행하고 있으며, 파워반도체에서 사용되는 Ag 소재를 대체 하는 것을 목적으로 합니다.

네 번째는 이차전지 제조라인에 활용할 수 있는 카본 소재의 부품 소재 사업입니다. 본 아이템은 기존 Roll to Roll 장비에 사용되는 금속 롤러를 대체하는 성격을 가지며, 작업물의 이송 구간에 직접적인 접촉을 하지 않는 유체 이송 특성을 가집니다. 그러므로 이차전지, 필름 등의 소재 이송에 손상을 최소화할 수 있는 특성이 있으며, 현재 국내외 이차전지 생산 기업과 양산 테스트를 진행하고 있습니다.




Q_ 이처럼 회사의 목표치를 어떻게 잡고 있는지와 각오를 말씀해 주신다면요.

우리의 비전 목표은 “고객가치에 혁신을, 직원에는 성장과 행복을”입니다. 이에 올해  Ceramic ESC 개발 및 수리 사업을 런칭하고 이차전지 생산 라인 적용 ‘카본 제품’을 양산하는 것입니다. 이후 2025년 PDS ESC 양산, 2026년 PDS system 수출, 2027년 파워반도체 신터링 소재의 양산 공급을 목표하고 있습니다.

저희는 회사와 임직원들이 함께 의견을 모으고, 회사의 성장 발전에 대한 목표를 만들게 되었습니다. 지금의 목표는 매출 1,000억 원의 달성과 회사의 상장에 우리가 함께 만들어 나가자는 목적이 있습니다. 파웰은 소재 관련 특성화 기업으로 지속적인 발전을 이룩할 것입니다. 마지막으로 우리 기업은 “고객이 있기에 우리가 있다는 생각으로 고객 만족”을 위하여 최선을 다하겠습니다.



   우리 회사 핵심 제품은요

정전기 힘 이용하여 기판을 하부 전극에 안정적으로 고정해

- Ceramic ESC

정전기의 힘을 이용하여 기판을 하부 전극에 안정적으로 고정하는 핵심부품이다.
이 기기는 일반적으로 전극의 개수에 따라 Monopolar(단극성) 또는 Bipolar(양극성) 타입으로 나뉘며, 유전층 저항률의 크기에 따라 Columb과 Johnsen-Rahb 타입으로 구분된다.

㈜파웰 코퍼레이션의 정전척은 플라즈마 내성이 뛰어나며, 빠른 디척킹 및 프로세스 가스 내성이 우수한 특징을 가지고 있다.


- PDS ESC 

                  

현재 반도체 시장은 단위 공정 당 2mm 이하의 디자인 룰 시대를 맞이하고 있으며, 이에 따라 건식 식각 기술의 중심인 플라즈마 공정의 중요성이 크게 부각되고 있다. 또한 미세패턴의 정밀한 고정 제어를 위해서는 건식 플라즈마 정밀 측정이 필요한 상황이다.

㈜파웰 코퍼레이션의 PDS ESC는 플라즈마 센서를 세라믹 정전척에 임베디드하여 실시간 플라즈마 밀도 측정이 가능하다. 이를 통해 플라즈마 공정 제어에 있어서 획기적인 부품으로 인정받고 있다.