ATMI코리아가 지난 2월 세미콘 코리아 2014(SEMICON Korea 2014) 참여와 함께 장안 제2공장을 올해 2분기부터 본격적으로 가동한다고 밝혔다. ATMI코리아 장성규 지사장은 “세계 반도체 시장에서 중요한 위치를 차지하는 국내 시장을 공략하기 위해 첨단재료의 생산과 연구 인력을 확충해 지속적인 투자를 이어나가겠다”고 말했다. 
ATMI는 1986년도 설립되어 글로벌 개발, 제조와 지원을 위해 각 중요 거점마다 세일즈·서비스 오퍼레이션과 공장, 연구소를 두고 있다. 특히 한국에서는 연구소와 공장(안성, 장안)을 운영하고 있다. ATMI 장성규 한국 지사장은 “ATMI의 특징은 시장을 선도하는 특허 및 지적재산과 관련된 웰 디벨롭먼트 IP 포지션(Well-developed IP position), 하이 퍼포밍 제품(High-performing product) 등으로 고객이 솔루션을 원하기 전에 공급곀夏颱?수 있는 시스템을 갖췄다”면서 “이런 시스템을 기반으로 지난해 마이크로일렉트로닉스 사업부는 3억 6천만 달러의 비즈니스를 성과를 거둬 관련 시장을 선도했다”고 말했다.
ATMI의 지난해 4분기 제품별 수익으로는 습식 크리닝 용액 등의 대표 브랜드를 포함한 구리 소재(Cu Materials) 47%, 주입(Implant) 32%, 액체 패키징(Liquid Packaging) 13%를 나타냈다. 또한 같은 기간 분야별 매출은 로직이 62%로 가장 성과를 거뒀고 메모리와 플랫 패널 디스플레이(Flat Panel Display)가 각각 29%, 7%를 차지했다.

진일보한 제품
ATMI의 마이크로일렉트로닉스 제품군은 크게 이온주입(Ion Implant)과 배합 습식 화학(Formulated Wet Chemistries), 구리도금(Copper Plating), 증착(Deposition), 액체 패키징(Liquids Packaging)으로 나뉜다. 먼저 이온주입 제품은 반도체 고객사에 지속해서 SDS(Safe Delivery Source)와 VAC(Vacuum Actuated Cylinder)를 공급하고 있으며 이미 정밀 혼합물(Precision mixtures)과 단층 도핑(Monolayer doping), 플라즈마 도핑(Plasma doping) 기술로 전환하고 있다. 배합 습식 화학(Formulated Wet Chemistries)은 Post-CMP(제품명: PlanarClean, ESC-784)와 Post-etch(ST-250)가 있다. 특히 이 제품은 한국과 대만 등의 아시아에서 다수가 사용하고 있으며 차세대 제품으로는 타이탄클린(TitanKlean)이 있다. 구리도금은 비아폼(Viaform)으로 선도적인 구리 전기도금 프로세스를 지원하고 있다. 증착(Deposition) 분야는 연구소를 중심으로 프런트 및 백 엔드 응용 프로그램에 사용되는 프리커서 재료(Precursor materials)를 개발, 출시하고 있다. 액체 패키징 분야는 나우팩(NOWPak)으로 현재 국내 디스플레이 업계에 공급 중이며, 새로운 브라이트팩(BrightPak)이 빠르게 기존 반도체 글래스 보틀(Semiconductor glass bottle)을 교체하고 있다. 특히 브라이트팩 보틀(Bottle)은 케미컬 저장 및 공급의 최신 기술을 대표하는 패키징 솔루션으로 마이크로일렉트로닉스 산업의 포토 리소그래피 애플리케이션에서 사용되는 기존 유리병과 비교해 월등한 성능 개선의 특징을 제공한다. 특히 충격에 파괴되지 않아 더 안전하면서 다루기 쉽고 최대 99.9%까지 재료를 활용할 수 있는 우수한 성능을 제공한다.
ATMI는 기술의 깊이와 글로벌 인프라, 지적 자산 등의 3가지 장점을 가진다. 장성규 한국 지사장은 “ATMI는 일반적인 화학, 가스 회사가 아닌 특수한 분야에 집중하고 있으며 Advanced Technology Materials, Inc란 사명처럼 진일보한 제품을 개발해 고객에게 제공하고 있다”고 말했다.


장안 공장, 아시아 지역의 수출 기지
2013년 4분기 한국과 대만을 비롯한 아시아 시장에서 전체 매출의 77%를 차지해 아시아 시장의 비중이 중요해지고 있다. 따라서 ATMI코리아는 장안 제2공장을 올해 2분기부터 본격적으로 가동할 계획이다. 장안 제2공장은 제1공장에서 생산 중인 증착 분야와 패키징 제품의 생산 이전도 이뤄질 예정이다. 또한 수원 나노소자특화센터 내에 위치한 기술연구소(KTC) 인력도 대폭 충원해 국내 투자를 이어간다는 전략이다. 장성규 한국 지사장은 “장안 공장에서는 이온주입 공정 재료를 주로 생산할 계획이며 국내 대기업을 비롯해 아시아 지역 반도체 디스플레이 기업의 수출 기지 역할을 맡을 것”이라고 설명했다. 그는 “반도체 미세공정화 등과 같은 최신 반도체 기술을 구현하기 위해 새로운 반도체 소재에 대한 개발이 선행돼야 한다”면서 “앞으로 고객사와의 협력을 통해 최첨단 반도체 소재에 대한 연구개발을 더욱 강화할 계획”이라고 덧붙였다.
한편 ATMI는 미국 코네티컷주 댄버리에 본사를 두고 있으며 반도체 전문 재료와 공정 효율성 제고를 위해 설계된 안전하고 고순도의 재료 관리 및 수송 솔루션을 전 세계 반도체, 평판 디스플레이, 생명 과학 분야에 공급하고 있다.