KLA-Tencor(KLA-Tencor Corporation)는 신형 FlashScan™ 레티클 블랭크¹⁾ 검사 제품군을 발표했다. KLA-Tencor는 1978년 처음으로 검사 시스템을 도입한 이래로 패턴 레티클 검사 분야에서 중대한 역할을 해왔지만, 새로 출시된 FlashScan 제품군은 레티클 블랭크 검사 전용 제품 시장으로 진출한다는 데에 그 의미가 있다. 레티클 블랭크 검사 시스템은 블랭크 제조업체에서 공정 개발 및 양산 과정 중에 결함 관리를 위해 구매하며, 레티클 제조업체(마스크 숍)에서 예정된 검사 시행, 툴 모니터링 및 공정 제어의 용도로 구매하고 있다. FlashScan 시스템은 광학 또는 극자외선(EUV) 노광용으로 고안한 레티클 블랭크를 검사할 수 있다.  

1) 레티클 블랭크(Reticle blanks)는 레티클 패턴을 작성하는 복합 기판을 의미 

KLA-Tencor의 레티클 및 광대역 웨이퍼 검사 부문 전반 관리자인 야린 시옹(Yalin Xiong) 박사는 “발전적 노광(Advanced lithography)은 잘 특성화한 레티클 블랭크부터 시작한다”며, “결함이 없는 EUV 블랭크는 제조하기 극히 까다롭기로 악명이 높다. 비용도 많이 들고, EUV 노광이 차세대 칩 제조에 가져다줄 수 있는 여러 가지 이점을 누릴 수 있는 시점이 늦춰지고 있다. KLA-Tencor의 신형 FlashScan 블랭크 검사기는 빈 기판, 흡수층(Absorber Film) 및 감광 코팅면 등에 존재하는 광범위한 결함 유형을 포착할 수 있다. 또한, FlashScan 시스템은 현재 시중에서 구할 수 있는 다른 시스템에 비해 처리량과 감도가 월등한 것이 특징으로 블랭크 제조업체와 마스크 숍 측면에서는 학습 주기의 속도가 빨라지는 효과도 있다”고 말했다.  

FlashScan 시스템은 KLA-Tencor의 웨이퍼 결함 검사 포트폴리오 특유의 레이저 산란 기술을 활용하여 현재 생산 또는 개발 중인 여타 모든 광학 및 EUV 블랭크의 감도와 속도 요구사항에 부합한다. 레티클 검사 시장에서 유일무이한 3채널 컬렉터는 감광 코팅 면의 핀홀이나 블랭크 제조 또는 운송 도중에 나타날 수 있는 떨어진(Fall-On) 입자 등과 같은 여러 가지 유형의 레티클 블랭크 결함을 감지해, 크기를 알아내고 구별할 수 있도록 고안됐다. 

업계를 선도하는 마스크 숍 고객들로부터 강한 관심을 표출하고 있는 것이 시장에 광범위한 결함 유형 포착 기능이 있는 고감도, 고생산성 시스템에 대한 수요가 있다는 점을 입증하고 있다. FlashScan 시스템은 블랭크 및 패턴 레티클 제조업체에서 요구하는 높은 성능과 생산성을 유지하기 위해 KLA-Tencor의 글로벌 종합 서비스 네트워크를 통해 지원된다.